Handbook of silicon semiconductor metrology
- Författare
- Alain C. Diebold
- (Edited by Alain C. Diebold., Includes index)
- Genre
- Ej skönlitteratur
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Dekker | cop. 2001 | USA, New York | xvi, 874 sidor. ill. |